ASML对受制于EUV光栅机的采购技术总括为自信，表示即便散发图纸，别人也造不出。很多光栅机巨头也明白造EUV光栅机的难度，所以基本上只个人兴趣当中低端光栅机，对较低端EUV光栅机并未用心。

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